Reaktives Fügen von Mikrosystemen

Beim Aufbau von Bauelementen aus der Mikroelektronik oder Mikrosensorik besteht häufig der Bedarf nach einer stressarmen, dauerhaft festen und möglichst gut wärmeleitenden Fügeverbindung mit dem Substrat. In vielen Fällen kann konventionelles Reflowlöten nicht eingesetzt werden, weil die Bauelemente entweder die auftretenden Temperaturen nicht schadlos überstehen oder nach dem Abkühlen unter hohem thermomechanischem Stress stehen, was sich negativ auf deren Eigenschaften auswirkt. Das reaktive Fügen ist solch ein innovatives Verfahren, das stressarme, hochfeste und gut wärmeleitende Fügeverbindungen ermöglicht, ohne die Bauteile thermisch zu belasten. Das reaktive Fügen basiert darauf, dass durch eine sehr schnell ablaufende exotherme Reaktion die Wärme für den Lötprozess praktisch nur in der Fügezone auftritt, die Bauelemente jedoch nicht erwärmt werden. Allerdings wird durch die rasche Erwärmung und Abkühlung in der Fügezone eine Stosswelle erzeugt, die zum Ausfall von sehr empfindlichen Bauteilen, wie z.B. halbleiterbasierten Sensoren oder Peltierelementen, führen kann. Ziel dieses Projekts und der beteiligten Forschungseinrichtungen ist es daher, durch geeignete Massnahmen und unter Mitwirkung von relevanten Unternehmen diese Stosswelle zu dämpfen, um dadurch den reaktiven Fügeprozess für empfindliche Bauelemente zu ermöglichen. Es wird erwartet, dass sich die Forschungs- und Innovationsfähigkeit der Region durch Erarbeitung eines innovativen technologischen Prozesses und dank der Erweiterung der grenzüberschreitenden Forschungskapazitäten steigern wird.

Projektdatenbank der Schweizer Regionalentwicklung

Base de données des projets du développement régional suisse

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